TAZMO SOG COATER CSX2132N
OccasionTazmo · CSX2132N
Caractéristiques techniques
Marque
Tazmo
Modèle
CSX2132N
Description
TAZMO SOG COATER CSX2132N Fabricant : Tazmo Modèle : CSX2132N État technique : Bon État : Visible Description : Cet équipement est un appareil de traitement complet conçu pour l'enrobage SOG jusqu'à la cuisson, permettant la formation entièrement automatique d'un film sur des substrats de 150 mm de cassette à cassette. Le système comprend un transfert de substrat effectué par un robot à deux mains, ce qui garantit un fonctionnement efficace. Le système comprend une coupelle standard, une plaque de refroidissement, trois plaques de cuisson, un aligneur, une zone de refroidissement, un séchage sous vide et une cuisson à haute température et à faible densité d'O2, ce qui en fait une solution complète pour les processus d'enduction SOG.
Cette catégorie regroupe les équipements de fabrication, de test et de métrologie utilisés dans le traitement des wafers et la production de composants semi-conducteurs. Utilisé en fonderie de semi-conducteurs (fab) et laboratoires de test, partout où des plaquettes de silicium doivent être traitées, mesurées ou testées avec une précision micrométrique. Le prix va de 20 000-100 000 € pour un équipement de test ou de métrologie d'occasion à plus de 1 000 000 € neuf pour une machine de traitement de wafer haute précision. Durée de vie de 10 à 20 ans, la précision de calibration et la propreté de la chambre de traitement étant les points critiques à surveiller. Nécessite une alimentation électrique stabilisée, un environnement de salle blanche pour la plupart des équipements, et un contrôle strict de la température et de l'hygrométrie.
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