Fourneau MRL Bandit 218
OccasionMRL · Bandit 218
Caractéristiques techniques
Marque
MRL
Modèle
Bandit 218
Description
Titre de l'offre : Fourneau MRL Bandit 218 Fabricant : MRL Modèle : Bandit 218 État technique : Bon État : Visible Diamètre du tube du four : 200 mm Tube de four LPCVD 1 : TEOS/Aneal Tube de four LPCVD 2 : Nitrure/Poly Connexions de gaz : - Air Faible N2 - N2 - FG1 - Ar - O2 - SiH2Cl2 (DCS) - SiH4 - NH3 Pompes à vide : 2 pompes à vide Kashiyama avec souffleurs Contrôleur de source de dopant : Schumacher M-Dot Dimensions du four : 66 x 36 x 78 pouces Dimensions du module à gaz : 18 x 36 x 78 pouces Exigences en matière d'alimentation : 480V, 250 Amps Max
Cette catégorie regroupe les équipements de fabrication, de test et de métrologie utilisés dans le traitement des wafers et la production de composants semi-conducteurs. Utilisé en fonderie de semi-conducteurs (fab) et laboratoires de test, partout où des plaquettes de silicium doivent être traitées, mesurées ou testées avec une précision micrométrique. Le prix va de 20 000-100 000 € pour un équipement de test ou de métrologie d'occasion à plus de 1 000 000 € neuf pour une machine de traitement de wafer haute précision. Durée de vie de 10 à 20 ans, la précision de calibration et la propreté de la chambre de traitement étant les points critiques à surveiller. Nécessite une alimentation électrique stabilisée, un environnement de salle blanche pour la plupart des équipements, et un contrôle strict de la température et de l'hygrométrie.
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