Four d'amorçage à vapeur HMDS Yield Engineering 3TA
OccasionYield Engineering · 3TA HMDS
Caractéristiques techniques
Marque
Yield Engineering
Modèle
3TA HMDS
Description
Four d'amorçage à vapeur HMDS Yield Engineering 3TA Dimensions de la chambre intérieure : - Largeur : 12 pouces - Profondeur : 13,25 pouces - Hauteur : 12 pouces Contrôle de la température : - (2) régulateurs de température PID - Plage de température : 25-200ºC Système de contrôle : - Contrôleur logique PLD avec écran tactile Système de vide : - Jauge à vide numérique Granville-Phillips - Réservoir HMDS à grande capacité à remplissage par siphon, monté sur le côté, avec jauge à vide montée sur le réservoir Caractéristiques de sécurité : - Verrouillage du vide et de la pression pour garantir l'intégrité du procédé - Contrôle de la pression d'azote - Protection contre la surchauffe avec arrêt du chauffage Efficacité opérationnelle : - Azote préchauffé pour amener rapidement les plaquettes à la température de fonctionnement - Capacité multi-programmes Matériau de la chambre : - Acier inoxydable 316L poli électrochimiquement Spécifications électriques : - Tension : 120v - Phase : 1ph - Fréquence : 50/60hz - Courant : 14amp Équipement optionnel : - Pompe à vide 7CFM (hydrocarbure ou Fomblin) État technique : Bon État : Visible
Cette catégorie regroupe les équipements de fabrication, de test et de métrologie utilisés dans le traitement des wafers et la production de composants semi-conducteurs. Utilisé en fonderie de semi-conducteurs (fab) et laboratoires de test, partout où des plaquettes de silicium doivent être traitées, mesurées ou testées avec une précision micrométrique. Le prix va de 20 000-100 000 € pour un équipement de test ou de métrologie d'occasion à plus de 1 000 000 € neuf pour une machine de traitement de wafer haute précision. Durée de vie de 10 à 20 ans, la précision de calibration et la propreté de la chambre de traitement étant les points critiques à surveiller. Nécessite une alimentation électrique stabilisée, un environnement de salle blanche pour la plupart des équipements, et un contrôle strict de la température et de l'hygrométrie.
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