Cuve Plasmafinish V55-G
OccasionPlasmafinish · V55-G
Caractéristiques techniques
Marque
Plasmafinish
Modèle
V55-G
Description
Titre du produit : Système de décapage par micro-ondes PlasmaFinish V55-G Fabricant : Plasmafinish Modèle : V55-G État technique : Bon Dimensions de la chambre à vide : 340 x 400 x 450 mm Fonctionnalité de la porte : Déverrouillage automatique à la fin du processus Excitation micro-ondes : magnétron de 2,45 GHz Puissance maximale ajustée : 1200 W Canaux de gaz : 3 canaux de gaz avec Brooks MFC (N2, Ar, O2) Alimentation électrique : 120/208 V Pompe à vide : Pompe à vide Pfeiffer DUO65C avec huile Fomblin (PFPE) Manomètre : Transducteur absolu Baratron Système de contrôle : Contrôleur de processus PLC avec RS232 Le système de décapage par micro-ondes PlasmaFinish V55-G est conçu pour des processus de décapage efficaces et précis. Il est doté d'une technologie avancée et de composants fiables.
Cette catégorie regroupe les équipements de fabrication, de test et de métrologie utilisés dans le traitement des wafers et la production de composants semi-conducteurs. Utilisé en fonderie de semi-conducteurs (fab) et laboratoires de test, partout où des plaquettes de silicium doivent être traitées, mesurées ou testées avec une précision micrométrique. Le prix va de 20 000-100 000 € pour un équipement de test ou de métrologie d'occasion à plus de 1 000 000 € neuf pour une machine de traitement de wafer haute précision. Durée de vie de 10 à 20 ans, la précision de calibration et la propreté de la chambre de traitement étant les points critiques à surveiller. Nécessite une alimentation électrique stabilisée, un environnement de salle blanche pour la plupart des équipements, et un contrôle strict de la température et de l'hygrométrie.
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